За контрол на полупроводникови пластини (wafers) и прибори (включително интегрални схеми) или за контрол на фотомаски или междинни фотошаблони, използвани в процеса на производството на полупроводникови прибори (включително интегрални схеми)

za ispitivanje poluvodičkih pločica (wafera) ili poluvodičkih elemenata (uključujući integrirane krugove) ili za ispitivanje fotomaski ili mrežica koje se rabe u proizvodnji poluvodičkih elemenata (uključujući integrirane krugove)

Na kontrolu polovodičových destiček nebo polovodičových zařízení (včetně integrovaných obvodů) nebo na kontrolu masek nebo ohniskových destiček používaných k výrobě polovodičových zařízení (včetně integrovaných obvodů)

Til kontrol af halvlederskiver eller -komponenter (herunder integrerede kredsløb) eller til kontrol af fotomasker eller retikler, der anvendes ved fremstilling af halvlederkomponenter (herunder integrerede kredsløb)

voor het verifiëren van halfgeleiderschijven of van halfgeleiderelementen (geïntegreerde schakelingen daaronder begrepen) of voor het verifiëren van fotomaskers of dradenkruisen gebruikt in de fabricage van halfgeleiderelementen (geïntegreerde schakelingen daaronder begrepen)

For inspecting semiconductor wafers or devices (including integrated circuits) or for inspecting photomasks or reticles used in manufacturing semiconductor devices (including integrated circuits)

puolijohdekiekkojen tai -komponenttien (myös integroidut piirit) tarkastamista tai puolijohdekomponenttien (myös integroidut piirit) valmistuksessa käytettävien maskien ja hiusristikoiden kuvioiden tarkastamista varten