XVI. TRIEDA - STROJE, PRÍSTROJE A MECHANICKÉ ZARIADENIA; ELEKTRICKÉ ZARIADENIA; ICH ČASTI A SÚČASTI; PRÍSTROJE NA ZÁZNAM A REPRODUKCIU ZVUKU, PRÍSTROJE NA ZÁZNAM A REPRODUKCIU TELEVÍZNEHO OBRAZU A ZVUKU, A ČASTI, SÚČASTI A PRÍSLUŠENSTVO TAKÉHOTO TOVARU > 84. KAPITOLA - JADROVÉ REAKTORY, KOTLY, STROJE, PRÍSTROJE A MECHANICKÉ ZARIADENIA; ICH ČASTI A SÚČASTI > 8486 Stroje a prístroje druhu používaného výlučne alebo hlavne na výrobu polovodičových kryštálov alebo doštičiek, polovodičových zariadení, elektronických integrovaných obvodov alebo plochých panelových displejov; stroje a prístroje špecifikované v poznámke 11 C k tejto kapitole; časti, súčasti a príslušenstvo > Stroje a prístroje na výrobu polovodičových kryštálov alebo doštičiek